石英晶体频率元器件工艺革新项目

南京经济技术开发区新港大道56号

南京中电熊猫晶体科技有限公司

南京源恒环境研究所有限公司

企业计划改进清洗工艺并新建wafer水晶片生产线。预计购置全自动清洗机来改进清洗工艺，提高产品质量；同时，利用现有生产车间通过购置石英晶片wafer清洗机、全自动光刻机、涂胶显影机等设备新建wafer水晶片生产线，形成每月2000片3寸wafer水晶片的生产能力。

（1）废水：项目含铬废水预处理后与综合废水一同经厂区污水处理设施处理后接管，生活污水经化粪池处理后接管，纯水制备浓水、冷却塔排水直接接管至新港污水处理厂集中处理。污水处理厂尾水排放标准执行《城镇污水处理厂污染物排放标准》（DB32/4440-2022）C标准后最终排入兴武沟。

（2）噪声：本项目噪声设备采用厂房隔声、距离衰减、设置基础减震的方式减少噪声排放。

（3）废气：项目营运后产生的废气主要为非甲烷总烃和氟化氢、氨、碱雾。非甲烷总烃经二级活性炭装置处理后高空排放；氟化氢、氨、碱雾经碱洗塔处理后高空排放。氟化物、氨、非甲烷总烃有组织排放执行《半导体行业污染物排放标准》（DB32/3747-2020）表3标准要求，厂区边界氟化物、非甲烷总烃排放限值执行表3标准要求。厂区内挥发性有机物无组织排放限值执行《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）表2限值要求，臭气浓度有组织及无组织排放执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）中表1、表2标准要求。

（4）固废：项目固体废物均委托处置，零排放，不会对环境产生不利影响。