超高精度智能立式二次倒角装备的研发及产业化建设项目

南京经济技术开发区红枫科技园D4栋偏东段

江苏福拉特半导体设备有限公司

江苏润环环境科技有限公司

江苏福拉特半导体设备有限公司主要进行智能化装备生产及检测实验室，智能化装备生产项目为超高精度智能立式二次倒角装备组装，投产后预计年产超高精度智能立式二次倒角装备150台；检测实验主要进行近红外光谱实验、紫外分光光度计实验、定容实验等，用于半导体在线设备浓度监测研发，采集实验数据，售卖给半导体在线设备使用企业，研发量为490（L/a）。

主要环境影响：

本项目运营期会产生实验废气、试剂储存废气、危废贮存库废气、纯水制备废水、纯水制备反冲洗废水、保水测试废水、固废、风机噪声的影响。

预防或减轻不良环境影响的对策和措施：

（1）废气

本项目实验室产生的废气经通风橱收集措施，收集的废气通过楼内废气管道引至大楼楼顶，经“SDG+活性炭吸附”装置处理后通过DA001排气筒高空排放；试剂储存废气收集后与实验废气一起经“SDG+活性炭吸附”装置处理，处理后废气经DA001排气筒排入大气；危废贮存库废气经整体换风管道收集后与实验废气一起经“SDG+活性炭吸附”装置处理，处理后废气经DA001排气筒排放。

（2）废水

园区采取雨污分流，雨水经园区内雨水管收集后排入附近水体、本项目废水主要来自办公生活污水、纯水制备浓水等。项目纯水制备浓水、纯水设备反冲洗水、保水测试废水接东阳污水处理厂市政管网，生活污水接入园区生活污水管网进入化粪池预处理，废水经预处理满足东阳污水处理厂接管标准要求后，通过市政污水管网进入东阳污水处理厂处理。

（3）固废

运营期实验废液及清洗废液、废实验耗材、废试剂瓶、废活性炭、废SDG吸附剂、废清洁抹布委托有资质单位处理；废纯水制备耗材、不合格产品由供应商回收；废弃外包装、生活垃圾由环卫部门统一处理。

（4）噪声

运营期选用低噪声设备、合理布置，采取厂房隔声、距离衰减等措施。